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產(chǎn)品編號：044004
規(guī)格型號：VTC-16-3HD
應(yīng)用領(lǐng)域：
本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設(shè)備進(jìn)行控制，操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧，占用實(shí)驗(yàn)室空間少，操作簡單，應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。
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產(chǎn)品介紹 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為φ50mm，加熱溫度達(dá)500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。 |
產(chǎn)品參數(shù) | 1、輸入功率：110V/220V通用2000W（含真空泵） 3、石英罩：φ160mm×120mm 4、樣品臺：φ50mm（可選購加熱型樣品臺，最高溫度可到500℃；最長濺射時間不可超過5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 7、靶材：尺寸直徑φ47mm，厚度0.1mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、Al、Zn、C等 8、尺寸：360mm×350mm×3600mm； 可選配件： 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺 |
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